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金屬硅的酸洗和氧化提純 |
來源:廈門大學學報 更新時間:2013-06-14 13:46:16 瀏覽次數: |
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廈門大學龐愛鎖等為了降低金屬硅酸洗的后續工藝難度, 在成熟的常溫酸洗技術的基礎上加上濕氧氧化新技術對金屬硅進行提純。酸洗主要作用是去除大部分裸露在金屬硅顆粒表面的金屬雜質;而濕氧氧化后, 使顆粒內部分凝系數( 在硅和二氧化硅系統中的分凝系數) 較小的硼在高溫下擴散進入二氧化硅中, 再腐蝕去除氧化層和其中的雜質。實驗表明該方法對硼雜質有明顯的提純作用,提純后,硼雜質的含量最低為4×10-6。兩種技術在工藝上兼容,在提純目標上互補,是非常有效的低能耗和低成本的提純方法。 |
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