哈爾濱工業大學卓會丹等利用離子注入與沉積工藝在氮化硅陶瓷盤表面制備了厚約500nm的類金剛石碳膜(DLC膜)。采用有限元模型模擬計算了DLC膜的熱應力,分析了不同工作溫度下薄膜熱應力的大小和分布;利用高溫球盤摩擦試驗機考察了陶瓷盤表面DLC膜的摩擦磨損特性;將表面沉積DLC膜的氮化硅陶瓷球經歷不同溫度循環后分別裝入滿裝角接觸軸承,測試了軸承的滾動摩擦力矩。試驗結果表明:在常溫到350℃范圍內,氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑動摩擦因數和軸承的滾動摩擦力矩值,但隨著溫度的升高,DLC膜的磨損壽命變短。在經歷400℃熱循環后,陶瓷表面DLC膜在熱應力和機械力的共同作用下起皺、脫落,配副摩擦恢復到未鍍膜水平。
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