機械法超細粉碎工藝一般是指制備粒度分布d97≤10μm的粉碎和分級工藝，分為干法和濕法。目前工業上采用的超細粉碎單元作業（即一段超細粉碎）有以下幾種工藝流程：
1、開路流程
一般扁平或盤式、循環管式等氣流磨因具有自行分級功能，常采用這種開路工藝流程。另外，間歇式超細粉碎也常采用這種流程：這種工藝流程的優點是工藝簡單。但是，對于不具備自行分級功能的超細粉碎機，由于這種工藝流程中沒有設置分級機，不能及時地分出合格的超細粉體產品，因此，一般產品的粒度分布范圍較寬。
2、閉路流程
其特點是分級機與超細粉碎機構成超細粉碎-精細分級閉路系統。一般球磨機、攪拌磨、高速機械沖擊式磨機、振動磨等的連續粉碎作業常采用這種工藝流程。其優點是能及時地分出合格的超細粉體產品，因此，可以減輕微細顆粒的團聚和提高超細粉碎作業效率。
3、帶預先分級的開路流程
其特點是物料在進入超細粉碎機之前先經分級，細粒級物料直接作為超細粉體產品。粗粒級物料再進入超細粉碎機粉碎。當給料中含有較多的合格粒級超細粉體時，采用這種工藝流程可以減輕粉碎機的負荷，降低單位超細粉產品的能耗。提高作業效率。
4、帶預先分級的閉路流程
這種組合作業不僅有助于提高粉碎效率和降低單位產品能耗，還可以控制產品的粒度分布。
這種工藝流程還可簡化為只設l臺分級機，即將預先分級和檢查分級合片用同一臺分級機。
5、帶最終分級的開路流程
這種粉碎上藝流程的特點是可以在粉碎機后設置1臺或多臺分級機，從而得到兩種以上不同細度及粒度分布的產品。
6、帶預先分級和最終分級的開路流程
這種工藝流程實質不僅可以預光分離出部分合格細粒級產品以減輕粉碎機的負荷，而且后設的最終分級設備可以得到兩種以上不同細度及粒度分布的產品。
在粉碎方式上，超細粉碎工藝可分為干式（一段或多段）粉碎、濕式（一段或多段）粉碎、干濕組合式多段粉碎等3種。
粉碎的段數主要取決于原料的粒度和要求的產品細度。對于粒度比較粗的原料，可采用先進行細粉碎或細磨再進行超細粉碎的工藝流程，一般可將原料粉碎到74μm或43μm再采用一段超細粉碎工藝流程；對于產品粒度要求很細，又易于團聚的物料，為提高作業效率可采用多段串聯的超細粉碎工藝流程，但是，一般來說，粉碎段數愈多，工藝流程也就愈復雜，工程投資也就越大。
來源：非金屬礦加工技術與應用手冊，作者：鄭水林、袁繼祖
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