球形硅微粉，是指顆粒個體呈球形，主要成分為二氧化硅的無定形石英粉體材料，其生產原料主要是角形硅微粉，生產方法主要有火焰熔融法、等離子加熱爐法、化學合成法、水解法等。

　　
　　目前，國內主要利用火焰熔融法來生產球形硅微粉。該技術的關鍵是加熱裝置要求有穩定的溫度場、易于調節溫度范圍以及不要對硅微粉造成二次污染。

 

　　
　　高頻等離子體熔融法生產球形硅微粉的原理與工藝與火焰熔融法類似，主要是將高溫熱源變為等離子體發生器，其溫度范圍適中、控制平穩、產量高，可達到較高球化率，因而是一種較合適的生產方法。
　　
　　水解法是把液體SiCl4以恒定的速度加入到添加了不同分散劑的去離子水中，并同時用石英棒高速攪拌水解產物，將得到的水解產物經陳化、洗滌、過濾后，在100℃-200℃的恒溫箱中進行干燥脫水至恒重后，轉移至高溫燒結爐中，在不同溫度下進行高溫燒結脫羥和晶形轉換，經粉磨、篩分后即得到所需粒徑的高純球形硅微粉。
　　
　　據了解，聯瑞新材主要掌握的球形粉體生產技術包括：
　　（1）燃爆法，制備微米級產品；
　?。?）火焰法，制備亞微米級產品，用該法制備的量最大；
　?。?）液相法，用于生產不允許有大顆粒、有嚴格技術指標控制的高附加值球硅球鋁液相合成產品，可用于M8及以上覆銅板中。
　　
　　整體來看，國內大部分企業生產規模不大、品種不多，在工藝過程中缺乏系統的控制手段，致使硅微粉產品的純度、粒度以及產品質量穩定性與國外產品比較還存在一定的差距。